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技術(shù)資訊
在線膜厚儀廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、電池制造、涂料、塑料和金屬薄膜等。每個(gè)領(lǐng)域的薄膜種類和厚度要求不同,因此對(duì)膜厚儀的精度、穩(wěn)定性、適用范圍等要求也各不相同。不同種類的薄膜對(duì)膜厚儀的測量性能有著直接的影響。主要影響因素包括薄膜的材料特性、折射率、吸光度、表面平整度等。以下將從幾個(gè)常見的薄膜種類出發(fā),探討在線膜厚儀的適用性和限制。1、金屬薄膜金屬薄膜通常具有較高的反射率,這使得在線膜厚儀能夠通過光學(xué)干涉法等方法有效地測量其膜厚。金屬薄膜如銅、鋁、金等材料通常應(yīng)...
8-13
光譜橢偏儀是一種高精度的光學(xué)測量儀器,主要用于分析材料的光學(xué)性質(zhì)(如折射率、消光系數(shù))、薄膜厚度(從納米到微米級(jí))以及表面/界面的微觀結(jié)構(gòu)信息。其核心原理是利用光的偏振狀態(tài)在材料表面反射或透射后的變化,通過解析這種變化反推材料的物理特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、納米材料、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。該設(shè)備在操作時(shí)可以不接觸、無損測量,不破壞樣品;厚度測量可達(dá)亞納米級(jí);無需標(biāo)記或預(yù)處理,適用于多種材料。選購光譜橢偏儀時(shí)可以關(guān)注以下幾點(diǎn):1、光譜范圍:根據(jù)測量材料的光學(xué)特性選擇合適的光譜...
7-31
膜厚測試儀主要用于測量薄膜或涂層材料的厚度。根據(jù)工作原理的不同,可以分為幾種類型,常見的有電渦流法、磁性法、X射線熒光法等。這些測試方法依賴于不同的物理原理來進(jìn)行膜層厚度的測量。電渦流法通常用于非鐵金屬表面,而磁性法則專門應(yīng)用于鐵磁性材料的膜層測量。無論是哪種類型的膜厚測試儀,都需要一些關(guān)鍵的耗材和附件來保證測量的精度和儀器的長期穩(wěn)定運(yùn)行。下面將詳細(xì)介紹常見的耗材和附件。主要耗材:1.探頭與傳感器探頭和傳感器是直接與待測物體表面接觸的核心部件。探頭根據(jù)不同的測量方式,通常分為...
7-23
教學(xué)橢偏儀作為一種重要的光學(xué)測量工具,廣泛應(yīng)用于研究、材料分析以及工業(yè)測試領(lǐng)域。在教學(xué)中,不僅能幫助學(xué)生直觀理解光學(xué)原理,還能加深學(xué)生對(duì)光學(xué)薄膜、表面特性等物理現(xiàn)象的認(rèn)識(shí)。針對(duì)教學(xué)需求設(shè)計(jì)的橢偏儀,通常具備一定的特殊設(shè)計(jì)特點(diǎn),旨在簡化操作、提高實(shí)用性和適應(yīng)性,幫助學(xué)生掌握科學(xué)實(shí)驗(yàn)方法與數(shù)據(jù)分析技能。教學(xué)橢偏儀的設(shè)計(jì)不同于研究型和工業(yè)型橢偏儀,通常更注重易用性和教育功能。其設(shè)計(jì)理念主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1.簡單易操作需要盡量簡化操作流程,減少過多復(fù)雜的設(shè)置,使學(xué)生能夠在較短的...
7-7
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,集成電路(IC)的制造工藝變得越來越精密,尤其是在薄膜沉積和刻蝕等工藝中,厚度控制顯得尤為重要。紅外干涉測厚儀作為一種高精度的非接觸式測量工具,在半導(dǎo)體制造過程中得到了廣泛應(yīng)用。其原理基于紅外干涉現(xiàn)象,通過反射光波與薄膜表面之間的相位差來實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的測量。以下將分析紅外干涉測厚儀在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用及優(yōu)勢。1、高精度厚度測量在半導(dǎo)體制造中,薄膜的厚度對(duì)器件的性能具有直接影響。例如,在光刻、化學(xué)氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等過程中,薄膜...
4-11
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